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    • 专利摘要:
    Verfahrenzur Herstellung eines Nanosäulen-Arraysin einer Polymer-Matrix auf einem Substrat durch gleichzeitige Abscheidungvon Metall- und Polymerdampf aus der Gasphase, wobei als Polymereines aufgrund seiner niedrigen Oberflächenenergie gering an Metallhaftendes Polymer gewähltist, wobei das Verhältnis derAufdampfrate von Metall zur Aufdampfrate von Polymer größer als0,6 gewähltwird.
    公开号:DE102004029595A1
    申请号:DE200410029595
    申请日:2004-06-18
    公开日:2006-01-12
    发明作者:Abhijit Dr. Biswas；Franz Prof. Dr. Faupel；Henry Dipl.-Ing. Greve；Vladimir Dr. Zaporojtchenko
    申请人:Christian Albrechts Universitaet Kiel；
    IPC主号:C08F2-46
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Nanodraht-Arraysin einer Polymer-Matrix nach dem Oberbegriff des Hauptanspruches.Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung magnetischerSpeichermedien.
    [0002] MagnetischeSpeichermedien sind unerlässlicheBestandteile der Computertechnik. Sie tragen nichtflüchtig dieSoftware zum Rechnerbetrieb und gestatten zugleich die kontinuierlicheDatenaktualisierung. Forschung und Entwicklung sind heute u. a. aufdie Steigerung der Speicherdichte, auf weitergehende Miniaturisierungund auf kostengünstigeHerstellung gerichtet.
    [0003] DieFestplatte eines Computers umfasst eine starre, rotierbare Substratscheibe,auf der ein magnetischer Film angeordnet ist. Der Film besteht aus einemMatrixmaterial mit darin befindlichen, magnetischen Partikeln. Erwird durch einen Schreibkopf lokal magnetisiert, indem die Partikeldurch ein externes Feld bleibend ausgerichtet werden. Ein Lesekopf misstdie lokale Magnetisierung in einzelnen Bereichen des Films. JederBereich, dem ein einzelnes Datenbit zugeordnet wird, umfasst einoder mehrere magnetische Partikel.
    [0004] Eswurde bereits erkannt, dass eine Steigerung der Speicherdichte miteiner Verkleinerung dieser Datenbit-Bereiche einhergehen muss. Diephysikalische Grenze ist offenbar das thermische Umklappen der Magnetisierungbei sehr kleinen magnetischen Partikeln im Bereich einiger Nanometer(Superparamagnetismus). Durch Kristall- oder Formanisotropie können Nanopartikelgegen thermisches Umklappen stabilisiert werden.
    [0005] Umdie Wechselwirkung benachbarter, nanoskaliger Bits zu minimieren,kann auf eine ausreichende Beabstandung der magnetischen Partikel nichtverzichtet werden. Es ist deshalb sinnvoll, für eine Anordnung der Partikelin einer Matrix zu sorgen, die die Partikel zugleich voneinandersepariert.
    [0006] GeeigneteKandidaten zur Bildung von magnetischen Speicherfilmen sind dieso genannten Metall-Polymer-Nanokomposite. Sie bestehen aus nanoskaligen,voneinander separierten Metallclustern in einer elektrisch isolierendenPolymermatrix. Von besonderem Interesse für Speicheranwendungen sindferromagnetische Metalle als Clustermaterial. In Clustern mit wenigenNanometern Durchmesser ist jeweils nur die Ausbildung einer einzigenmagnetischen Domänemöglich.Bei geeigneter Wahl des Matrixpolymers werden die ferromagnetischenPartikel vor Umwelteinflüssendurch die Matrix geschützt, wasbesonders die Haltbarkeit eines Datenspeichers erhöht.
    [0007] Derim Prinzip stufenlos einstellbare Anteil des Metallvolumens am Gesamtvolumendes Nanokomposits (Füllungsgrad, „fillingfactor") gestattetin weiten Grenzen die Kontrolle der elektrischen, magnetischen undoptischen Eigenschaften der Metall-Polymer-Nanokomposite.
    [0008] Metall-Polymer-Nanokompositelassen sich u. a. nasschemisch herstellen. Diese Verfahren, bei denendie Nanokomposite z.B. aus Polymersuspensionen und Metallsalzlösungen o. ä. durchEntfernen der Lösungsmittelgewonnen werden, sind schon allein wegen des Verbleibs der Lösungsmittelnachteilig. Zudem ist die Kontrolle der Clustergrößenverteilungin engen Grenzen schwierig, und es lassen sich ebenfalls nur schwergezielte Legierungskonzentrationen einstellen.
    [0009] EineMöglichkeit,Metall-Polymer-Nanokomposite ohne Lösungsmittel und mit verbessertenKontrollmöglichkeitenherzustellen, ist die Abscheidung von Metall- und Polymerdampf ausder Gasphase auf ein Substrat. Unter Vakuumbedingungen (Atmosphärendruck < 10–4 hPaund ggf. Schutzgas) werden eines oder mehrere Metalle (z.B. in Formvon Drähten) undeines oder mehrere Polymere (z.B. Granulate) oder Monomere thermischverdampft, und die Dämpfekondensieren gleichzeitig auf einem Substrat.
    [0010] ZurBegriffsklärungsei hier gesagt, dass es sich beim „Verdampfen" des Polymers tatsächlich um seinechemische Zersetzung handelt, bei der kovalente Bindungen gebrochenwerden. So entstehen niedermolekulare Fragmente, die über ungepaarte Valenz elektronenverfügenund zunächstin die Gasphase übergehen.Ein solches Gas aus Fragmentradikalen soll unter dem Begriff „Polymerdampf" verstanden werden.Gleichsam ist auch der Begriff „Kondensation" des Polymerdampfsnicht im üblichen physikalischenSinne aufzufassen, sondern vielmehr als eine Repolymerisation aufdem Substrat, bei der eine amorphe oder teilkristalline Polymermatrixentsteht. Die allgemeinen Grundlagen der Abscheidung von Polymerenaus einer Gasphase sind Stand der Technik (z.B. nachzulesen in W.N. Gill, S. Rogojevic, T. Lu, Low Dielectric Constant Materialsfor IC Applications, Editors: P. S. Ho, J. Leu, W. W. Lee, Springer Seriesin Advanced Microelectronics, Springer, Heidelberg, 2003, S. 95).
    [0011] Die DE 103 16 379.4 zeigteine Variante der gleichzeitigen Kondensation von Polymer und Metall auf,mit der homogen verteilte, sphärischeMetallcluster mit enger Clustergrößenverteilung zu erhalten sind.Dabei kann ein Füllungsgradvon etwa 20% erreicht werden, ohne dass Perkolation auftritt, d.h.die Cluster sind nicht elektrisch leitend miteinander verbunden.Steigert man die Verdampfungsrate des Metalls weiter, wird die Perkolationsschwelle überschrittenund die Leitfähigkeitdes Komposits drastisch erhöht.Das Komposit verliert dann seine günstigen Eigenschaften z.B.zur Fertigung von Hochfrequenz-Induktoren. Ein besonderer Vorteilder Abscheidung aus der Gasphase ist die Möglichkeit, durch Kontrolle derVerdampfungsraten mehrerer Metalle auch Legierungscluster in situherzustellen.
    [0012] Ganzallgemein ist das Abscheidungsverfahren zur Herstellung von Nanokompositenkompatibel mit der Prozesstechnik bei der Mikroelektronikfertigung.
    [0013] ZurAusbildung signifikanter magnetischer Momente in ferromagnetischenPartikeln ist es bekanntermaßenvorteilhaft, wenn die Partikel nicht sphärisch sind, sondern stattdesseneine Formanisotropie aufweisen. Ein sehr hohes Aspektverhältnis (= Länge/Durchmesser)ist typisch fürso genannte Nanosäulen(„nanocolumns"), die aufeinem magnetischen Datenspeicher vorzugsweise senkrecht zum Substratausgerichtet sein sollten.
    [0014] DieUS 2004/0071951 A1 schlägteine Reihe von Möglichkeitenvor, Arrays aus auf dem Substrat vertikal stehenden Nanosäulen ineiner nichtmagnetischen Matrix zu erzeugen. Die meisten dort beschriebenenVerfahren setzen einen ersten Herstellungsschritt zur Erzeugungfreistehender, weitgehend regelmäßig beabstandeterNanosäulenvoraus, der mit einem in der Regel aufwendigen Arbeitsgang der Nanostrukturierungeinhergeht. Das nichtmagnetische Matrixmaterial dient vor allemder mechanischen Stabilisierung des Nanosäulen-Arrays und wird erst ineinem zweiten Herstellungschritt eingebracht.
    [0015] Einezweite Möglichkeitzur Erzeugung von magnetischen Nanosäulen stammt ebenfalls aus der US2004/0071951 A1. Es wird dort vorgeschlagen, superparamagnetischePartikel (Durchmesser < 3 nm)in einer viskosen Matrix auf das Substrat zu bringen. Unter Einwirkungeines externen Magnetfeldes senkrecht zum Substrat richten sichdie beweglichen Partikel zu Ketten entlang der Feldlinien aus, wobei sieferromagnetische Eigenschaften gewinnen. Nach Aushärten derzunächstfließfähigen Matrixentsteht ein permanentes Nanosäulen-Array.
    [0016] Eineweitere Möglichkeit,ein Nanosäulen-Arrayanzulegen, besteht u. a. in der Elektrodeposition von Metall ineiner nanoporösenMatrix, wie die US 2002/0055239 A1 lehrt. Die Säulenstruktur wird dabei zunächst imMatrixmaterial erzeugt, bei dem es sich um ein Kopolymer aus wenigstenszwei verschiedenen Polymeren (z.B. Polystyrol und Polymethylmethacrylat(PMMA)) handelt, das z.B. übereinen Spincoating-Prozess auf das Substrat gebracht wird. Beim Ausheizenin einem elektrischen Feld bilden sich selbstorganisiert Mikrodomänen, indenen nur eines der beiden Polymere vorliegt. Selektive Degradationeines Polymers, z.B. des PMMA mit UV-Licht, und Entfernen der Rückstände hinterlässt eineregelmäßig poröse Matrixmit zylinderförmigen Porensenkrecht zum Substrat. In einem zweiten Schritt werden die Porendann z.B. mit magnetischem Material aufgefüllt.
    [0017] Dendrei exemplarisch angeführtenVerfahren zur Herstellung von Nanosäulen-Arrays ist – abseitsaller technischer Unterschiede – gemein,dass sie jeweils einen eigenen Verfahrensschritt zur Bildung der(insbes. ferromagnetischen) Nanosäulen und zur Herstellung einerfesten, nichtmagnetischen Matrix, die die Nanosäulen stabilisiert, separiertund vor Umwelteinflüssenschützt,vorsehen. Die Umsetzung eines Herstellungsverfahrens in getrenntenArbeitsgängenist zeitaufwendiger, meist teurer und – soweit eine Änderungvon Umgebungsbedingungen notwendig ist – auch mit höherem Ausschussrisiko behaftetals ein Ein-Schritt-Prozess.
    [0018] Esist daher die Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren anzugeben, dasdie Erzeugung der Nanosäulenund der Matrix in einem einzigen Arbeitsgang gestattet, wobei zugleicheine hohe Säulendichteund ein hohes Aspektverhältnisder Säulenrealisiert werden.
    [0019] DieAufgabe wird gelöstdurch ein Verfahren mit den Merkmalen des Hauptanspruchs. Die Unteransprüche gebenvorteilhafte Ausgestaltungen an.
    [0020] Daserfindungsgemäße Verfahrennutzt ein dem Fachmann bislang unbekanntes Phänomen der selbstorganisiertenNanosäulenbildungbei der simultanen Abscheidung von Metall und Polymer aus der Gasphase.Als Polymer ist dabei vorteilhafterweise eines gewählt, dasaufgrund seiner niedrigen Oberflächenenergiegering an Metall haftet.
    [0021] DieSäulenbildungkann bei ferro-, dia- und paramagnetischen Metallen auftreten (Elementmetalleoder Legierungen), wenn diese mit einem Polymer mit niedriger Oberflächenenergiekodeponiert werden. Allerdings müssennicht alle Materialkombinationen zu der gefundenen Selbstorganisationneigen. Erfindungsgemäß lassensich unter Nutzung der Säulenbildungin einem einzigen Arbeitsschritt Nanosäulen-Arrays mit den gefordertenEigenschaften für Speichermedienmit ultrahoher Speicherdichte herstellen.
    [0022] Während derKondensation von Metall- und Polymerdampf auf einem (weitgehendbeliebigen) Substrat lassen sich die Aufdampfraten (definiert als aufgedampfteSchichtdicke pro Zeiteinheit) von Metall und Polymer getrennt überwachenund anhand der einstellbaren Verdampfungsraten beider Komponentenauch regeln. Gemessen wird dazu etwa die Eigenfrequenz eines ebenfallsmit Dampf beaufschlagten Schwingquarzes, die sich mit aufwachsenderSchichtdicke in bekannter Weise ändert.
    [0023] DasAufdampfratenverhältnis ρ (= RateMetall/RatePolymer)wird nach dem Stand der Technik zur Erzeugung von Kompositen mitinteressanten magnetischen Eigenschaften auf Werte von maximal etwa0,4 eingestellt. Dies korrespondiert mit den relativ geringen Füllungsgraden,die sich noch unterhalb der Perkolationsschwelle erzielen lassen.
    [0024] BeiVerwendung eines Polymers mit niedriger Oberflächenenergie zeigt sich nun überraschend, dasssich oberhalb eines Schwellwertes von ρ nicht immer ungeordnet perkolierendeCluster in der Polymermatrix bilden. Vielmehr kann eine Vorzugsrichtungsenkrecht zum Substrat entstehen, so dass metallische Nanosäulen wachsen,die lateral auch weiterhin durch die Matrix separiert bleiben. DieseSäulenkönnendabei ein Aspektverhältnisvon 40 und mehr aufweisen.
    [0025] Beispielhaftund als besonders bevorzugtes Ausführungsbeispiel hinsichtlichSpeichermedien wird die Erfindung im Folgenden mit einem fluorhaltigenPolymer und einem ferromagnetischen Metall beschrieben. Das ferromagnetischeMetall kann auch eine in situ erzeugte Legierung sein, d.h. nicht alleverdampften Metalle müssenselbst Ferromagnetismus zeigen.
    [0026] DieFluoropolymere zeichnen sich ganz allgemein durch hohe Beständigkeitund niedrige Oberflächenenergienaus. Letzteres ist die Ursache füreinen kleinen Haftkoeffizienten der Metallatome auf dem Polymer.Dadurch kehren auf dem Polymer auftreffende Metallatome entwederrasch in die Gasphase zurück,oder sie besitzen ausreichende Beweglichkeit entlang der Oberfläche, umsich an bereits bestehende Metallcluster als Nukleationszentrenanzulagern. Auf diese Weise wachsen die Nanosäulen nach einer Primärnukleationauch weiterhin isoliert voneinander.
    [0027] DieMatrix kann ebenfalls durch Polykondensation verschiedener Monomeregebildet werden, wobei jedoch i. a. auch Wasser entsteht, was zurOxidation der Metalle führenkann.
    [0028] DieExistenz der Säulenstrukturlässt sich anhandvon TEM-Aufnahmen belegen. Ein im Labor erzeugtes Nanosäulen-Arrayaus Fe54Ni29Co17-Säulenin einer Teflon AF®-Matrix weist Säulen mitDurchmessern um 6 nm und Längenbis zu 250 nm auf. Der mittlere Abstand der Säulen voneinander liegt in der Größenordnungdes Durchmessers. Rein rechnerisch ergibt sich daraus für die Speicherdichteeines Mediums auf Basis der Erfindung die Größenordnung Terabit/cm2.
    [0029] DieSäulenbildungist kritisch von der Wahl des Verhältnisses der Aufdampfraten ρ abhängig. Wennsich Säulenbilden, geht dies mit einem deutlich erhöhten Füllungsgrad einher, den manim Nachhinein am fertigen Komposit z.B. mittels EDX (Energy DispersiveX-Ray Analysis) ermitteln kann. Am Beispiel von Kompositen aus verdampftemTeflon AF® undFe54Ni29Co17-Draht zeigt sich, dass der Füllungsgradsprungartig von wenigen Prozent beim Clusterkomposit auf Werte oberhalbvon etwa 60% beim Säulenkompositansteigt, sobald ρ einenSchwellwert überschreitet.Die genaue Lage des Schwellwertes hängt vom jeweiligen Materialsystemund insbesondere von der eingestellten Substrattemperatur ab. Für das Beispielsystemwerden so etwa ρS 100°C = 1,5 und ρS 100°C= 2,3 ermittelt. Aus einer Abschätzungder Haftkoeffizienten von Metall und Polymer und mit Blick auf Füllungsgradevon Säulenkompositenoberhalb von 60% lässtsich schließen,dass die niedrigsten Schwellwerte zum Einsetzen der Säulenbildung bei0,6 liegen dürften.
    [0030] DasBeispielsystem lässtebenfalls erkennen, dass ein tiefgekühltes Substrat (–30°C) für keine Wahlvon ρ zurSäulenbildungneigt.
    [0031] Auchwenn manche Materialsysteme nicht – oder nicht unter allen Bedingungen – zur selbsorganisiertenSäulenbildungneigen, will sich die Erfindung nicht nur auf das zuvor genannteBeispiel begrenzt verstanden wissen. Wesentliche Merkmale der Erfindungsind die gleichzeitige Abscheidung von Metall und Polymer aus derGasphase, die Verwendung eines Polymers niedriger Oberflächenenergie unddie Kontrolle der Aufdampfraten.
    [0032] Alsgenerelle Regel kann angegeben werden, dass für ein nicht gekühltes, vorzugsweisesogar beheiztes, Substrat und ein bestimmtes Materialsystem, umfassendein Polymer mit niedriger Oberflächenenergieund wenigstens ein – vorzugsweiseferromagnetisches – Metall,durch eine Messreihe mit variablem Aufdampfratenverhältnis einSchwellwert ρS ≥ 0,6aufzufinden ist, ab dem das selbstorganisierte Wachstum von isoliertenNanosäulensenkrecht zum Substrat – gekennzeichnetdurch einen drastischen Anstieg des Füllunggrades – einsetzt.Das Nanosäulen-Arrayin der Polymermatrix bildet sich jenseits des Schwellwertes aufjeden Fall dann, wenn ρ undSubstrattemperatur konstant gehalten werden.
    [0033] Gleichwohlist nicht davon auszugehen, dass sich für jede beliebige Wahl von ρ ≥ ρS stetsisolierte Nanosäulenbilden werden, denn bei sehr hohem Metalldampfangebot bilden sichirgendwann seitwärtsgerichtete Kontakte. Es ist deshalb eine bevorzugte Ausgestaltungder Erfindung, bei der Herstellung des Säulenkomposits ein ρ knapp oberhalbdes Schwellwertes einzustellen, um die Wahrscheinlichkeit für solcheKontakte zu minimieren.
    [0034] Esist ebenfalls möglich,die Aufdampfraten nach dem Einsetzen der Säulenbildung durch gezielteVariation der Verdampfungsraten zu maximieren, wobei ihr Verhältnis ρ im Wesentlichenkonstant gelassen wird. Dies ist vor allem zur Beschleunigung desHerstellungsprozesses ratsam.
    [0035] Auchdie Substrattemperatur kann nach dem Einsetzen der Säulenbildungeinem zeitlichen Verlauf folgend geregelt werden. Sie ist leichtzu überwachen undkann zur Feinab stimmung des Säulenwachstumsoder auch zu dessen (zeitweiliger) Terminierung genutzt werden.
    [0036] Diezeitweilige Terminierung des Säulenwachstumskann zur Herstellung von magnetischen Kompositen ausgenutzt werden,bei denen sich das Aspektverhältnisder magnetischen Partikel gezielt einstellen lässt. Auf diese Weise kann dieFormanisotropie fürAnwendungen bei Frequenzen im GHz-Bereich, z.B. für Induktorengezielt maßgeschneidert werden.In diesem Frequenzbereich muss ein Kompromiss gefunden werden. Einezu großeAnisotropie führtzu kleinen Permeabilitäten.Eine zu kleine Anisotropie führtzu einer relativ niedrigen ferromagnetischen Resonanzfrequenz, dieneben den Wirbelstromverlusten eine weitere Grenze für den Einsatz beihohen Frequenzen darstellt.
    [0037] Esist weiterhin eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung, daserzeugte Säulenkompositeiner anschließendenWärmebehandlungin einem externen Magnetfeld zu unterziehen, welches entlang derSäulengerichtet ist („fieldannealing"). Sokönnen diemagnetischen Eigenschaften der Säulenvor allem fürdie Datenspeicherung durch Ausrichtung der magnetischen Domänen optimiertwerden.
    [0038] Ganzbesonders bevorzugt, da weniger zeitaufwendig, wird das externeMagnetfeld bereits währendder Kondensation senkrecht zum Substrat angelegt, so dass die Optimierungder Ausrichtung schon bei der Kompositbildung erfolgt („fielddeposition").
    [0039] ImFolgenden werden die Apparatur zur Durchführung der Kodeposition undein Verfahrensweg zur Herstellung eines Metall-Polymer-Nanokompositfilmesmit der beschriebenen Säulenstruktur konkreterbeschrieben.
    [0040] Ineiner Vakuumkammer befinden sich ein heizbarer Probenteller ausKupfer und in einem Abstand von ca. 10 cm hierzu der Polymer- undder Metallverdampfer. Beide Verdampfer entsprechen vom Prinzip hereiner Knudsenzelle und sind in einem Winkel von ungefähr 20° auf dieMitte des Probentellers ausgerichtet. Vor diesem befindet sich einShutter. Zwei Schwingquarze zur Bestimmung der Aufdampfraten vonMetall und Polymer sind geometrisch so angeordnet, dass einer derbeiden durch Abschattung durch den Probenträger den Materiefluss von nureinem Material bestimmt.
    [0041] Zunächst wirdein Substratfilm aus Upilex® (ein hochtemperaturbeständiges Polyimid)auf dem Probenteller mittels eines kohlenstoffhaltigen Klebefilmsfixiert, welcher einen ausreichenden thermischen Kontakt gewährleistet.Der Probenteller wird auf 200°Cerhitzt. Der Shutter vor der Probe ist geschlossen. Der mit Fe54Ni29Co17 befüllte Metallverdampferwird aufgeheizt und durch die angelegte Leistung wird über denkalibrierten Schwingquarz eine Aufdampfrate von ca. 1,5 nm/min eingestellt. Anschließend wirdder mit Teflon® AF1600 (Dupont) befülltePolymerverdampfer auf die notwendige Temperatur erhitzt, um eineAufdampfrate von ca. 0,6 nm/min zu erreichen. Diese Rate wird durchden zweiten Schwingquarz bestimmt, welcher nur dem Materieflussdes Polymers ausgesetzt ist. Das Aufdampfratenverhältnis zwischenMetall und Polymer liegt bei 2,5 zu 1. Nun wird der Shutter vorder Probe für120 Minuten geöffnet.In diesem Zeitraum wird ein Film von ca. 200 nm Dicke auf dem Upilex® Substrat abgeschieden,welcher die gewünschteSäulenstrukturaufweist.
    权利要求:
    Claims (11)
    [1] Verfahren zur Herstellung eines Nanosäulen-Arraysin einer Polymer-Matrix auf einem Substrat durch gleichzeitige Abscheidungvon Metall- und Polymerdampf aus der Gasphase, dadurch gekennzeichnet,daß alsPolymer eines aufgrund seiner niedrigen Oberflächenenergie gering an Metallhaftendes Polymer gewähltist, wobei das Verhältnisder Aufdampfrate von Metall zur Aufdampfrate von Polymer größer als0,6 gewähltwird.
    [2] Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,daß Fluoropolymereabgeschieden werden.
    [3] Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass ein ferromagnetisches Elementmetall oder eineferromagnetische Legierung zusammen mit dem Polymer abgeschiedenwird.
    [4] Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,dass die ferromagnetische Legierung eines aus der Gruppe der ElementeFe, Ni oder Co enthält.
    [5] Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet,dass die ferromagnetische Legierung die Elemente Fe, Ni und Co enthält.
    [6] Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet,dass die ferromagnetische Legierung Fe54Ni29Co17 ist.
    [7] Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass die Temperatur des Substrats bei Werten oberhalbder Raumtemperatur geregelt wird.
    [8] Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass die Aufdampfraten von Metall und Polymer nachEinsetzen der Säulenbildungbei konstantem Verhältniserhöht werden.
    [9] Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass das fertige Nanosäulen-Array in der Polymermatrixin einem externen Magnetfeld getempert wird, das entlang der Nanosäulen gerichtetist.
    [10] Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,dass die gleichzeitige Kondensation von Metall- und Polymerdampfin einem externen Magnetfeld stattfindet, das senkrecht zum Substratgerichtet ist.
    [11] Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,dass das Säulenwachstumzur Erzeugung von magnetischen Teilchen mit maßgeschneidertem Aspektverhältnis unterbrochenwird.
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    DE102004029595B4|2006-07-27|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2006-01-12| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2007-01-25| 8364| No opposition during term of opposition|
    2011-11-08| R082| Change of representative|Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT ANWALTSPARTNERSCHAFT MBB -, DE Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, DE Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, 28209 BREMEN, DE |
    2015-01-01| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|
    2015-03-26| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|Effective date: 20150101 |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DE200410029595|DE102004029595B4|2004-06-18|2004-06-18|Verfahren zur Herstellung eines Nanosäulen-Arrays in einer Polymer-Matrix|DE200410029595| DE102004029595B4|2004-06-18|2004-06-18|Verfahren zur Herstellung eines Nanosäulen-Arrays in einer Polymer-Matrix|
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